Trong khi thực hành thiền định, hành giả bắt đầu điều phục thân và điều phục tâm. Lúc này, tâm bắt đầu đi vào trạng thái thiền định dần từ nông đến sâu qua năm cấp độ gọi là Năm thiền chi, đó là: tầm, tứ, hỷ, lạc và nhất tâm. Năm tâm sở này là những yếu tố của các tâm thiền sắc giới giúp chế ngự năm triền cái. Năm thiền chi có mặt trong các tầng thiền. Ở sơ thiền, ly dục, ly các bất thiện pháp, một trạng thái hỷ lạc do ly dục sanh có tầm có tứ. Qua nhị thiền, từ bỏ tầm và tứ còn lại hỷ và lạc. Ở tam thiền, do ly hỷ trú xả, thân cảm sự lạc thọ gọi là xả niệm lạc trú. Ở tứ thiền, tâm hành giả có thể đi thẳng vào định không cần qua tầm, tứ, hỷ, lạc, chỉ còn chi thiền nhất tâm.